| 仪器名称 | 双束扫描电镜 | ||
| 生产厂家 | 美国FEI公司 | 启用时间 | 2015年7月 |
| 主要技术指标 | 离子束系统 分辨率≤5.0nm@30kV 加速电压为0.5kV-30kV, 束流强度0.6pA-65nA; 电子束系统 分辨率≤2nm@30kV(二次电子)，≤1.0nm@15kV(二次电子), ≤1.6nm@1kV (二次电子), STEM分辨率: ≤0.8nm@30kV(二次电子)，≤3nm@30kV(背散射电子)，最小束流1pA, 最大束流400nA 成像CCD系统 分辨率400万像素，波长范围175-3300nm 能谱仪 晶体有效检测面积不小于100mm2,能量分辨率优于129eV(STD), 最大计数率1600000cps, 最大输出计数率>800000cps EBSD 扫描和指标化速度：1000点/秒，取向测量精度优于0.1度 全套三维重构软件、高分辨拼图功能 | ||
| 主要功能及应用 | 为材料科学、微纳加工、半导体器件制造、纳米生物、地质学等领域提供SEM、BSE、STEM、EDS、EBSD、TEM样品制备、3D重构以及高分辨大面积拼图等分析。 | ||
| 仪器管理员 | 李 瑞 lirui@mail.gyig.ac.cn | ||
| 安放地点 | 地球化学研究所1号楼104室 | ||
| 配套设施 | 喷金/喷碳仪、震动抛光机 | ||